JSM-7500F

JSM-7500F场发射扫描电镜配备了场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)物镜,配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束)能够达到极高的分辨率。通过与GB模式组合,即使以能量低达数百电子伏的入射电子束也能获得很高的分辨率,是最适合观察样品浅表面的装置之一,此外,JSM-7500F还可以安装用于元素分析等的各种选配件。

• 强大的通用性与最高分辨率的完美结合

JSM-7500F场发射扫描电镜的电子光学系统将场发射电子枪和半浸没式(semi-in-lens)物镜组合为一体,场发射电子枪在低加速电压下也能够将电子束聚焦得很细,与通用型扫描电镜一样,对大样品也可以进行高分辨率的观察。


• GB模式(即柔和光束)能以极低能量的入射电子束观察样品的浅表面

通过给样品加以偏压并照射电子束,能够利用分辨率高于一般模式的GB模式,与能获得高分辨率的电子光学系统配合使用,JSM-7500F可用能量为数百电子伏的入射电子束对样品的浅表面进行高分辨率观察,这是迄今为止所未能实现的。


• 新型r-过滤器对二次电子和背散射电子的选择性检测

新型 r-过滤器有标准SB(二次电子检测)模式、标准BE模式(背散射电子检测)、Sb模式(二次电子优先)和Bs模式(背散射电子优先)四种模式。Sb模式能检测以任意比例和背散射电子混合的二次电子,Bs模式能检测以任意比例和二次电子混合的背散射电子,这些功能在简明易懂的菜单上都可一键操作完成。


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