Nano View-2000

Nano View-2000是经济型机型,为LCD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等领域提供纳米级别精度的量测.±6°

Nano View-2000是经济型机型,通过非接触式的方法对0.1nm-270nm的3维表面形貌进行高进度和高速测量。

利用物镜转台可方便的进行放大倍数的转换。使用拼接功能可分析宽广的表面。


产品规格:

干涉物镜:5个物镜可选

扫描范围:0-180um(270um,5mm可选)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm

倾斜台±6°

Z轴行程:100mm(手动)

工作台面:100X100mm(程控)

产品详情

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