Nano View-3000

Nano View-3000是高端机型,为LCD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等领域提供纳米级别精度的量测.

Nano View-3000是高端机型,包括:非接触3D形貌测量,更广的测量范围(5mm可选),自动聚焦功能(可选),拼接和线路纵断面等功能。


产品规格:

干涉物镜:5物镜可选(程控)

扫描范围:0-180um(270um,5mm可选)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm

横向分辨率:0.2-4um(取决于物镜和FOV)

倾斜度:±6°

工作平台:NV-P2020  200X200mm(程控)    NV-P4050  400X500mm(程控)

 

 

产品详情

本网站由阿里云提供云计算及安全服务 Powered by CloudDream