NVM-6000P

NVM-6000P是专用型设备,为LCD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等领域提供纳米级别精度的量测.。(1σ)

NVM-6000P是专用型设备,用于基板表面形貌的测量。

基板上的Via Hole,Pad形状,pattem形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。

在高速测量下仍具有优秀的重复性和准确性,支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。


产品规格:

扫描范围:0-180um(270um可选)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm 

台阶高度重复性:﹤0.5%(1σ)

横向分辨率:0.2-4um(取决于物镜和FOV)

工作台面:510X405mm(程控)

尺寸:1200(w)X1250(D)X1900(H)

产品详情

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