孔铜、面铜测头

ETP探头主要用于CMI511,CMI760等机型测量孔内铜厚。

ETP孔铜探头:

可测试最小孔直径:35 mils (899 μm)
测量厚度范围:0.08 – 4.0 mils (1–102 μm)
电涡流原理:遵守ASTM-E376-96标准的相关规定
准确度:±0.01 mil (0.25 μm) < 1 mil (25 μm)
精确度:1.2 mil(30μm)时,达到1.0% (实验室情况下)
分辨率:0.01 mils (0.1μm)


SRP-4面铜探头:

准确度:±1% (±0.1 µm)参考标准片

精确度:化学铜:标准差0.2 % ;电镀铜:标准差0.3 %
分辨率:0.01 mils > 1 mil, 0.001 mils < 1 mil, 
0.1 µm > 10 µm, 0.01 µm < 10 µm, 0.001 µm < 1 µm
测量厚度范围:铜:10 µin - 10 mil (0.25 µm - 254 µm),线形铜线宽范围:8 mil - 3000 mil (203 µm - 76.2 mm)


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